华卓精科企业展厅

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项目地址
项目类型 2019年
项目面积

        谈起半导体设备——光刻机,可能大部分人的第一反应是全球光刻机的“霸主”ASML(阿斯麦),其在光刻机设备方面已经形成了寡头垄断,2018年全球光刻机市场上,ASML的市场占率高达89%。相比之下,国内光刻机厂商则显得非常落后,因此一些芯片厂商往往会斥巨资向国外进口设备,比如2018年5月,中芯国际斥资1.2亿美元向 ASML 购买了一台EUV光刻设备。但需要注意的是,根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需要取得荷兰政府的出口许可。为了解决类似这一“卡脖子”的问题,一家来自北京的光刻机生产商正尝试向ASML发起挑战,11月15日,北京证监局披露了“北京华卓精科科技股份有限公司”(以下简称“华卓精科”)的第三期辅导工作报告,公司拟登陆科创板。

        据公司官网显示,其生产的光刻机双工件台,打破了ASML公司在工件台上的技术垄断,目前,已经基本实现了在光刻方面不再受制于人。

        公开资料显示,华卓精科由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立,公司官网介绍称,其建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化,通过“技术辐射&下行”的方式,面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。


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